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很难不支持。

王逸笑说:“有了国家机器出手,DUV光刻机估计五年左右就能实现国产突破。至于EUV光刻机,会费事一点,但也只是时间问题,早晚都会突破的!”

秦主任却没有这么乐观:“DUV光刻机已经投入巨资,开始研发了,五年内有希望。而EUV光刻机项目,却难度很大,不容乐观。不过,官方是将EUV光刻机和DUV光刻机,同步开始推进的!”

王逸明白了,两种光刻机是两代技术,或者说EUV光刻机是全新的技术。

所以没必要等几年后研发出DUV光刻机,再推进EUV光刻机研发,这样太慢了。

相反直接立项,两代产品,两代技术,一同研发!

如此魄力,王逸都很佩服。

索性道:“EUV光刻机的确困难,需要的上下游产业链太多,咱们差得很远。但换个思路,如果EUV光刻机不好做,做一个EUV光刻厂……会不会容易一点?”

“EUV光刻厂?”秦主任眼睛一亮:“你详细说一说。”

王逸略微思忖,刚想开口,却被秦主任直接打断:

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