第232章 美柚轰动全网，雷布斯的出路 (第3/29页)
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可7nm制程，就要用NXT 1980Di四重曝光，技术方面梁老都能解决，但良品率和成本就不好说了。
巧妇难为无米之炊。
拿着NXT 1980Di当EUV3300用，真是太强人所难。
不过，在国产光刻机突破之前，这也是迫不得已的办法。
当然，2011年NXT 1980Di还没有发布。
王逸当下能买到的光刻机型号，是2009年推出的NXT：1950i，和今年刚推出的NXT：1960Bi。
其实1950i/1960Bi/1970ci/1980Di，这四款光刻机都是同样的光源系统，单次曝光都在38nm以上，多重曝光都能生产28nm、16nm、14nm、12nm，甚至7nm。
后续的NXT：1960Bi、1970Ci、1980Di，不过是在NXT：1950i进行了部分升级，提高了良品率和精度，本质上相差不大。
像是三星台积电的未来几年的28nm、22nm、20nm、16nm、14nm、10nm，很多都是用的NXT：1950i！
毕竟三星、台积电2016年量产10nm芯片的时候，NXT：1980Di光刻机才开始量产！
