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“当然,我并非半导体专业人士,以上内容只是基于我不成熟的想法,随口一说。”

“能不能实现,我就不知道了。若是不能实现,还请各位大佬海涵。”

至于能不能实现,他也不知道,但理论上应该可以。

前世华清大学的EUV光刻机,就是要走这个路线,完全不同于阿斯麦的技术路线。

若是真能实现,直接从根源上避开了阿斯麦的专利。

毕竟极紫外光源的产生方式都不一样,也就没有侵犯专利这一说了。

国产技术突破的难度,不只是要做出同样的产品和等效的技术,还要避开西方的专利壁垒,采取完全不同的技术路线。

这就难上加难了。

但即便如此,前世依旧把工业皇冠上的明珠,差点全部摘秃噜皮。

秦主任笑着伸出手:“谢谢,你这些观点很重要,我这就上报。无论如何,都很感谢。”

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